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HEIDENHAIN光柵尺LS476 ML470 ID:329986-7K
測量原理
測量基準(zhǔn)
海德漢光學(xué)掃描的直線光柵尺或編碼器的測量基準(zhǔn)都是周期刻線－光柵。
這些光柵刻在玻璃或鋼材基體上。對于大長度的光柵尺，用鋼帶作為光柵尺基體。
海德漢公司用以下特別開發(fā)的光刻工藝制造精密光柵。
• AURODUR：在鍍金鋼尺帶上蝕刻柵線；典型柵距：40 µm
• METALLUR：抗污染的鍍金層金屬柵線；典型柵距：20 μm
• DIADUR：玻璃基體上超硬鉻線（典型柵距：20 μm）或玻璃基體上三維鉻線格柵（典型柵距：8 μm）
• SUPRADUR相位光柵：光學(xué)三維平面格柵；*抗污能力；典型柵距：不超過8 μm
• OPTODUR相位光柵：光學(xué)三維平面格柵，超高反光性能；典型柵距：不超過2 μm
除極小柵距外，由該工藝刻制的光柵擁有優(yōu)異的邊緣清晰度和均勻性。結(jié)合光電掃
描法，邊緣清晰的刻線是輸出高質(zhì)量信號的關(guān)鍵。
母版光柵采用海德漢公司定制的精密刻線機制造。
測量法
式測量是指光柵尺或編碼器在通電時立即提供位置值并隨時供后續(xù)電子電路讀取。無需移動軸執(zhí)行參考點回零操作。絕
對位置信息由一系列碼編排的光柵讀取。單獨的增量刻軌信號通過細(xì)分生成位置值，同時用于生成可選的增量信號。
HEIDENHAIN光柵尺LS476 ML470 ID:329986-7K
